广州潽拓——varian真空分子泵{精}{精} 磁悬分子泵
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Varian TV-301 Navigator分子泵，瓦里安TV-301 Navigator进气法兰口CF8/ISO160，出气法兰口KF16/KF25，抽速可达到280L/s，转速为56000rpm ,金华杰精修Varian 瓦里安/Agilent安捷伦全系列分子泵。
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薄膜沉积设备薄膜沉积指在晶圆表面生成多种薄膜，这些薄膜可以是绝缘体、半导体或导体。它们由不同的材料组成，是使用多种工艺生长或沉积的。通用的沉积技术有化学气相淀积（CVD）、蒸发和溅射PVD。一般来说，其中还要夹杂低温（≤500℃）退火工艺等热处理工艺，用以增进金属层和半导体之间的低电阻接触、消除内应力等。设备运行过程中需要高洁净的真空环境，一般采用以磁悬浮分子泵为主的无油真空系统。 varian真空分子泵
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